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        真空探針臺的技術指標及主要功能

        作者:發布時間:2022-05-26分類:新聞文章閱讀:668 ℃評論:0 評論

        高低溫真空探針臺是一種用于電子與通訊技術范疇的工藝實驗儀器。


          高低溫真空探針臺技術指標:


          1、六個探針臂接口,可以裝置六個探針臂。


          2、一個CF40真空抽氣口,一個疾速破真空進氣口。


          3、載物Chuck溫度范圍:4K-500K;CF法蘭接口,零碎極限真空優于5*10-6Pa。


          4、漏率優于:1.3*10-10Pa.M3/s;探針X-Y-Z三方向挪動,行程:25.4mm,定位精度:10μm。


          5、雙屏蔽chuck高低溫時到達100FA的測試精度。


          高低溫真空探針臺主要功能:


          可以完成樣品在高溫真空環境的測試,完成樣品在10-4PA真空度,4.2K到480K恣意溫度點的準確電學測量,可完成直流和微波(40GHz)的測量。


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